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TMC主動空氣隔振調(diào)平系統(tǒng),PEPS II建立在TMC的*利PEPS(精密電子定位系統(tǒng))基礎(chǔ)上并對其進行了改進。通過添加新的數(shù)字控制器,PEPS II更易于使用,提供了更多功能,還有一個改進的用戶界面。
更新時間:2024-12-06
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
TMC主動空氣消振器,Electro-Damp®是第一款專門用于提高半導體制造應用中的吞吐量、分辨率和產(chǎn)量的商用主動隔振系統(tǒng)。Electro-Damp II是對原始系統(tǒng)的*全重新設計,增加了模塊化、數(shù)字控制、前饋、高力/高間隙執(zhí)行器以及多個專門設計用于OEM應用(如顯微光刻、檢測和計量工具)的數(shù)字用戶界面。
TMC空氣隔振器,TMC氣動隔振系統(tǒng)是追求高隔振性能的超精密儀器的工具設計師的*選解決方案。TMC現(xiàn)在提供行業(yè)標準的GimbalPiston®、MaxDamp®和UltraDamp™隔振器,它們有不同的承重能力、阻尼水平和調(diào)平版本可供選擇,適合各種應用。
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